Wet Station   WS-150

습식 세정장치

    1) 장비 외장

       가. 재질 : 외관 전체는 IVORY PVC PLATE

       나. Color : 외관 전체는 IVORY PVC PLATE 이고, 전면 door 는 투명 Plate

       다. 전면하단, 측면, 후면에는 Maintenance용 door

       마. 장비 Size : 1500×1150×2000H(mm) 

       바. N2 GUN, DI GUN 설치

     2) Sink부

       가. 재질은  내산성,내열성 우수한 HT-PVC로 제작

     3) DI.W 배관.

       가. 재질 : C-PVC 

       나. PFA tubing

     4) Q.D.R Bath

       가. 재 질 : 투명 PVC 10t (Wafer guide :- 투명 PVC 10t)

       나. 용 량 : 약12 L

       다. 방 식 :  Overflow, Quick dump drain, Shower 기능, N2 Bubble 기능

       라. 급 수 :  DI.W Inlet으로부터 공급. 

       마. Drain : Quick drain(Air valve)        

        제품으로써, 2003년 개발된 이래, 계속 진화되고 있으며 동급사양의 외산

Reliability

• All PVC, PE, PTFE construction