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Megasonic Mask & Glass Cleaner, GMBC-500M

 

   반도체 및 디스플레이 산업에서 사용하는 마스크 및 글래스를 회전 브러쉬, 초음파 세척 및 순수세정에 의해서 크리닝합니다. 사용하기 편리하고, 소형이며, 견고합니다.

정확도

  • Spin Speed Repeatability: < 0.05 %
  • Spin Speed Resolution: < 0.05%
  • Substrate Sizes (upto 500x500mm square)코터 모델 JS401은 재성엔지니어링의 기본이 되는 제품으로써, 2003년 개발된 이래, 계속 진화되고 있으며 동급사양의 외산

 

 

Reliability

  • Aluminium and stainless 304 construction
  • Compact sized
  • 1 MHz megasonic cleaning
  • Brush cleaning, N2 dry
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application
  • 제공

 

프로그램 및 Hardware

 

 

LCD touch screen

Mask Size:     500mmx500mm or less

Chamber Material:     SUS 304

Body Size/ Material: 1050Wx1250DX1800H mm/SUS

Spin Motor:     AC servo Motor

Spin Rotation:     Max. 2000~3000 RPM

Brush Rotation:     50~200 RPM

Rotation Controller:     PLC

Brush Material:     Nylon, PVA sponge

Megasonic:     1 MHz

Power Supply:     AC200V

N2 source:     0.2MPa , 50L/min, Ø6 connection

Air source:     0.4MPa , 20L/min, Ø6 connection

Pure Water source:     0.2MPa, 10L/min, PT1/2 connection

Drainage:     2 lines, PVC-25A

Exhaust:     2 lines, PVC-100A

 

 

 

 

 

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