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IPA dryers, model JSiD-150, 200

     아이피에이 증기가 반응조에 투입되고, 아이피에이 증기의 얇은 막이 웨이퍼 상에 형성되어,

순수를 밀어냅니다.

    이 현상은 마랑고니 효과로써 서로 다른 표면장력 특성을 지닌 액체 사이에서 발생합니다.

    가열한 질소와 병행 사용하여 건조효과를 증대 시키며, 웻스테이션에 적용하거나 또는  

단독으로 사용합니다.

 

장점

  - 사용 중에 웨이퍼의 파손이 없으며, 얇은 웨이퍼의 건조에 우수합니다.

  - 파티클의 발생이 없습니다.

  - 여러 종류의 카세트를 적용할 수 있습니다.

  - iPA 소모가 적습니다.

 

 

      Reliability

  • PP and PVC construction
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application 제공

 

    프로그램 및 Hardware

  • 자동 건조 공정
  • 2~ 12인치 웨이퍼 적용
  • JSiD-100(4"), JSiD-200(8"), JSiD-300(12")
  • 한 회에 25~50 매 웨이퍼 건조
  • 8" 칼라 터치패널 디스플레이
  • 작은 Foot print
  • 1 갤런용 ipa bottle로 공급

 

 

 

 

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