자동 스윙암형 디스펜서 포함

• Plate Size(Max.) :  300mm diameter

         • Process step : 10 steps/ program,

• Memory Storage : 20 Programs

• Rotation Speed : 10 ~ 1500 rpm

• 공정순서: 산, 알칼리 스프레이 -순수 린스  - N2 스핀 드라이

• 현상 보울 및 챔버 배기; 150A

• Acceleration ratio setup, Max. 10000RPM/sec w/o load

• Run Time : 1~999sec, 0.1 초 단위로 입출력

• 디스펜서: 산 또는 알칼리 수용액 스프레이 노즐, 노즐각도(65~105도) 조절

   Swing arm 타입 스프레이